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Diener 等離子表面處理儀 PICO

簡(jiǎn)要描述:Diener 等離子表面處理儀 PICO特點(diǎn):
· 低壓等離子系統(tǒng),用于不同材料表面的處理

· 配置自動(dòng)/手動(dòng)模式,實(shí)現(xiàn)控制高機(jī)能

· 4" Wafer去膠清洗

· 適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用

  • 所在城市:上海市
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
  • 更新日期:2024-12-02
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:1193
詳細(xì)介紹
品牌其他品牌產(chǎn)地類(lèi)別國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè)

Diener 等離子表面處理儀 PICO

特點(diǎn):

· 低壓等離子系統(tǒng),用于不同材料表面的處理

· 配置自動(dòng)/手動(dòng)模式,實(shí)現(xiàn)控制高機(jī)能

· 4” Wafer去膠清洗

· 適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用

· 操作簡(jiǎn)單易使用

 

 

Diener 等離子表面處理儀 PICO技術(shù)規(guī)格:

型號(hào)

PICO

PICO PCCE

控制系統(tǒng)

手動(dòng)控制

PCCE 控制系統(tǒng)

工藝氣路

雙路或三路氣體

工藝氣體

O2Ar,N2,CO2,H2Air等非腐蝕性氣體或者CF4 、SF6等腐蝕性氣體

單體導(dǎo)入

H2O,親疏水涂層等單體(選配)

流量計(jì)

針閥流量計(jì)(防腐蝕)

MFC流量計(jì)(防腐蝕)

真空

腔體

材質(zhì)

高硼硅玻璃/石英

蓋子門(mén)/鉸鏈門(mén)帶觀(guān)察窗

不銹鋼

蓋子門(mén)/鉸鏈門(mén)帶觀(guān)察窗

鋁合金

鉸鏈門(mén)

圓形腔體內(nèi)尺寸(Φ×D)mm

150×320(600) *1

130×300( 600) *1

方形腔體內(nèi)尺寸  W×D×Hmm

160×325( 600) *1×160mm

150×325600*1×160

容積

5.6L~10.6L

8L~15L

7.8L~14L

電極

360度外置環(huán)繞電極

平行平板電極

發(fā)生器*

 

40 kHz     0-200W

100 kHz    0-500W

13.56 MHz  0-50W 或者 0-100W 或者0-300W

2.45 GHz   0-300W

真空壓力計(jì)

指針式壓力計(jì)

皮拉尼數(shù)字式壓力計(jì)

計(jì)時(shí)器

模擬數(shù)字式

數(shù)字式

托盤(pán)

高硼硅玻璃,石英,不銹鋼,鋁合金

外形尺寸(WXDxHmm

560x600-750x460-860mm

電源

AC220V 50Hz 10A

真空泵

排氣速度不小于8m3/H

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