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等離子蝕刻機(jī)的維護(hù)和清潔是確保其正常運(yùn)行和延長(zhǎng)使用壽命的重要措施。以下是一些常見(jiàn)的維護(hù)和清潔要求：1、每日檢查：每天使用等離子蝕刻機(jī)前，應(yīng)檢查外觀、真空泵油位、氣體供應(yīng)系統(tǒng)、冷卻水循環(huán)系統(tǒng)等是否正常。同時(shí)，檢查真空度、射頻功率、氣體流量等參數(shù)是否穩(wěn)定。2、清潔腔體：每次使用后，應(yīng)清潔腔體內(nèi)的殘留物。可以使用真空吸塵器或......

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